เซนเซอร์เฉื่อยเป็นการผสมผสานระหว่างมาตรความเร่งแบบ 3 แกน (X, Y และ Z) และไจโรสโคปแบบ 3 แกน มาตรความเร่งจะวัดความเร่งเชิงเส้นของหุ่นยนต์ (รวมถึงแรงโน้มถ่วง) ในขณะที่ไจโรสโคปจะวัดอัตราการหมุนของเซ็นเซอร์เฉื่อย V5 แบบสามแกนด้วยระบบอิเล็กทรอนิกส์
 การรวมกันของอุปกรณ์ทั้งสองนี้ในเซ็นเซอร์เดียวช่วยให้การนำทางมีประสิทธิภาพและแม่นยำ รวมทั้งควบคุมการเปลี่ยนแปลงในการเคลื่อนไหวของหุ่นยนต์